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      晶圆传片机
      2018-02-23
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      • 发布人:北京京仪自动化装备技术有限公司 个人认证
      • 等级: LV10
      • 行业:仪器仪表制造
      • 应用:检测
      • 地区:北京市
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      集成产品描述

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      产品功能描述

      全自动8/12英寸晶圆传片机,主要用于晶圆的传送、定位和排序。 产品特点: 独立自主知识产权的直线型单臂机械手,具有高可靠性、高稳定性。 设备配有高效FFU,采用全封闭结构,可发挥超洁净性能,其洁净度达Class1。 可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。 配备高精度CCD传感器及图像处理软件,可对晶圆ID刻号进行识别与读??; 可依据客户需求,非标定制。
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